Saturs
- Definīcija - ko nozīmē nanolitogrāfija?
- Ievads Microsoft Azure un Microsoft Cloud | Šajā rokasgrāmatā jūs uzzināsit, kas ir mākonis skaitļošana un kā Microsoft Azure var palīdzēt jums migrēt un vadīt savu biznesu no mākoņa.
- Techopedia skaidro nanolitogrāfiju
Definīcija - ko nozīmē nanolitogrāfija?
Nanolitogrāfija ir nanotehnoloģiju nozare un process, kurā mikroskopiskā līmenī imitē, raksta vai kodina modeļus, lai izveidotu neticami mazas struktūras. Šo procesu parasti izmanto, lai izveidotu mazākas un ātrākas elektroniskas ierīces, piemēram, mikro / nanočipus un procesorus. Nanolitogrāfiju galvenokārt izmanto dažādās tehnoloģiju nozarēs, sākot no elektroniskās līdz biomedicīnas nozarei.Ievads Microsoft Azure un Microsoft Cloud | Šajā rokasgrāmatā jūs uzzināsit, kas ir mākonis skaitļošana un kā Microsoft Azure var palīdzēt jums migrēt un vadīt savu biznesu no mākoņa.
Techopedia skaidro nanolitogrāfiju
Nanolitogrāfija ir plašs termins, ko izmanto, lai aprakstītu dažādus procesus nanoscalas modeļa veidošanai uz dažādiem nesējiem, no kuriem visizplatītākais ir pusvadītāju materiāla silīcijs. Nanolitogrāfijas galvenais mērķis ir elektronisko ierīču saraušanās, kas ļauj vairāk elektronisko detaļu saplūst mazākās telpās, t.i., mazākās integrētās shēmās, kuru rezultātā rodas mazākas ierīces, kuras ir ātrāk un lētāk izgatavot, jo ir nepieciešams mazāk materiālu. Tas arī palielina veiktspēju un reakcijas laiku, jo elektroniem jānoiet tikai ļoti mazā attālumā.Daži nanolitogrāfijā izmantotie paņēmieni ir šādi:
- Rentgenstaru litogrāfija - tiek realizēta, izmantojot tuvuma pieeju, un ir atkarīga no tuva lauka rentgena stariem Fresnela difrakcijā. Ir zināms, ka tā optiskā izšķirtspēja tiek paplašināta līdz 15 nm.
- Dubultā šablonēšana - metode, ko izmanto litogrāfiskā procesa skaļuma izšķirtspējas palielināšanai, pievienojot papildu modeļus starp jau esošu rakstu atstarpes tajā pašā slānī.
- Elektronu staru tiešās rakstīšanas (EBDW) litogrāfija - litogrāfijā visbiežāk izmantotais process, kura shēmu veidošanai izmanto elektronu staru.
- Ekstrēmā ultravioletās (EUV) litogrāfija - optiskās litogrāfijas forma, kurā izmanto ultraīsku gaismas viļņu garumu 13,5 nm.